冷水機在真空系統(tǒng)及真空鍍膜機上的應(yīng)用

一：冷水機在真空鍍膜工藝中有什么作用？

真空鍍膜工作原理是：膜體在高溫下蒸發(fā)落在工件表面結(jié)晶。由于空氣對蒸發(fā)的膜體分子會產(chǎn)生阻力造成碰撞使結(jié)晶體變得粗糙無光，所以必須在高真空下才能使結(jié)晶體細(xì)密光亮，果如真空度不高結(jié)晶體就會失去光澤結(jié)合力也很差。早期真空鍍膜是依靠蒸發(fā)體自然散射，結(jié)合差工效低光澤差。現(xiàn)在加上中頻磁控濺射靶用磁控射靶將膜體的蒸發(fā)分子在電場的作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉積在基片上成膜，解決了過去自然蒸發(fā)無法加工的膜體品種，如鍍鈦鍍鋯等等。

中頻設(shè)備必須加冷卻水，原因是它的頻率高電流大。電流在導(dǎo)體流動時有一個集膚效應(yīng)，電荷會聚集在電導(dǎo)有表面積，這樣使電導(dǎo)發(fā)熱所以采用中孔管做導(dǎo)體中間加水冷卻。 磁控濺射靶在發(fā)射時會產(chǎn)生高溫會使射槍變形，所以它有一個水套來冷卻射槍。同時還有一個重要原因磁控濺射可以被認(rèn)為是鍍膜技術(shù)中的成就之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜 - 基結(jié)合力好

二：冷水機成部分和部件

     真空鍍膜膜設(shè)備配備冷水機是為了達(dá)到高效率、高精度控制溫度的目的以保證鍍件的高質(zhì)量，增加鍍件的密度和平滑，縮短電鍍周期，提高生產(chǎn)效率和改善產(chǎn)品的質(zhì)量。

      真空鍍膜設(shè)備專用的冷水機主要組成有：壓縮機，貯液器，干燥過濾器，熱力膨脹閥，蒸發(fā)器，制冷劑，冷凝器。

      壓縮機是心臟，冷水機制冷系統(tǒng)通過壓縮機輸入電能，將熱量沖低溫環(huán)境排放到高溫環(huán)境，制冷壓縮機決定整個系統(tǒng)的效率。

      貯液器安裝在冷凝器后面，于冷凝器的排液管直接連通，貯液器起到調(diào)劑和貯存制冷劑的作用。

      冷凝器可分為三類：風(fēng)冷式冷凝器、蒸發(fā)式冷凝器和水冷式冷凝器，冷凝器起著輸出熱能并使制冷劑得以冷凝的作用。

      干燥過濾器預(yù)防制冷輪回中水分和污染物等的進(jìn)入導(dǎo)致影響制冷裝置的正常使用。

      熱力膨脹閥安裝在干燥過濾器和蒸發(fā)器之間，主要作用使使高溫的制冷劑液體節(jié)流降壓變?yōu)榈蜏氐盅簼裾羝M(jìn)入蒸發(fā)器從而達(dá)到制冷降溫的作用。

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